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在精密測量中，氣源的不凈會對三坐標測量機帶來許多危害，具體如下：
1如未及時更換濾芯,壓縮空氣中水及油體積質量超標,三坐標測量機導軌面將產生油跡或水跡,影響三坐標測量機的精度和正常使用。(氣源中含有油污如下圖）
2、未及時清理油跡或水跡,空氣中的灰塵顆粒落在導軌面上,與油跡或水跡混合,依附在導軌面上,將導致三坐標測量機無法正常運行,嚴重的可能燒毀三坐標測量機的伺服電機及其控制柜。(氣源中油污較多，為及時清理后到導軌如圖）
3、如未及時更換濾芯,壓縮空氣中的水、油體積質量超標,大量的油水混合物將通過氣源進入機器壓力調節平衡閥,引起三坐標測量機的z軸失去保護,有可能撞壞三坐標測量機的測頭部分。(下圖為氣源未進行干燥，含水量高，測座滴水）
4、未及時更換濾芯,微塵含量或者顆粒大小超標,可能引起空氣軸承堵塞,導致其無法浮起,劃傷導軌或空氣軸承,三坐標測量機將無法正常使用（下圖為氣源中含大顆粒物質，帶來的導軌劃傷）
總結：
三坐標測量機使用空氣軸承,理論上是永不磨損的結構。用戶嚴格按照規定的使用要求配備空氣過濾凈化裝置,再加上三坐標測量機本身配置的精密過濾器,基本上可以過濾掉氣源中的水分、油分和粉塵等雜質。提供優質的氣源,精心維護與保養空氣軸承、供氣管路系統、過濾系統等,定期、及時地更換過濾系統中的濾芯裝置,能夠延長三坐標測量機的使用壽命,提高三坐標測量機的使用效率,精度也能得到有效地保證。所以在壓縮空氣系統中采用多級分離過濾裝置或將壓縮空氣預處理的相對干燥潔凈是很必要的。
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